MFC 08常壓在線配氣裝置

MFC 08常壓在線配氣裝置

■ 產品介紹

   MFC 08常壓在線配氣裝置，應用高精度質量流量計對氣體流量進行控制，通過高性能氣體混合罐實現氣體均勻混合，通過軟件可針對每一路氣體的流量進行調節和控制，并可進行配氣應用方案設計，實現不同時間段配氣濃度的自動調節。具備配氣精度高、應用靈活、智能化等多個特點

■ 產品功能

1、1-8組氣體的流量輸出控制
2、2-8組氣體的在線均勻混合
3、配氣方案智能控制，可對各組氣體流量進行程序控制，可使各組氣體流量根據預設程序進行調控
4、多種配氣方式可選
5、可外接各類儀器、反應器等
6、混合、獨立等多種氣路外接方式
7、氣體預熱功能
8、智能氣路清洗功能

混氣裝置：采用異形氣體混合倉與氣體擾流板技術

控制系統：全自動控制，并可對配氣方案進行程序控制，實現流量、使用氣體、使用時間的隨意編程

氣路系統：使用316L不銹鋼管路及卡套式連接方式，使系統耐腐蝕、氣密性好

氣路控制系統：使用日本SMC電磁閥，并為每個氣路設置單向閥，已防止氣體逆行，所有電磁閥均由軟件控制配氣方案，可根據求，實現對每組氣體的流量進行編程調整，即流量的多段控制

應用氣體：NH3、N2、C3H8、C2H2、C3H4、SO2、CO2、NO2、CH4、Kr、HCl、O2、H2、NO、CO等

流量控制：0~200mL/min、100~500mL/min、500~1000mL/min 可選

工作壓差：(0.1 ~ 0.5) MPa

工作耐壓：3MPa

重復精度：±0.2%

工作精度：±1%

工作溫度：5 ℃ ~ 45 ℃